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半導體激光吸收光譜(TDLAS)技術利用激光能量被氣體分子“選頻”吸收形成吸收光譜的原理來測量氣體濃度。由半導體激光器發射出特定波長的激光束(僅能被被測氣體吸收),穿過被測氣體時,激光強度的衰減與被測氣體的濃度成一定的函數關系,因此,通過測量激光強度衰減信息就可以分析獲得被測氣體的濃度,TDLAS技術可實現多種氣體如CO、CO2、O2、HF、HCl、CH4、NH3、H20、H2S、HCN、C2H2、C2H4等的自動檢測,適用于鋼鐵、冶金、石化、環保、生化、航天等各種領域。
根據Beer-Lambert定律:
一束強度為I0的激光通過一個吸收體,其光強經過氣體吸收之后變為I,如果定義a為單位長度的吸收量,則Beer-Lambert 定律可以寫為:
I=I0e-al
如果吸收介質為原子或者分子,則吸收系數為激光頻率的函數即a(v),可以表示為:
a(v)=SΦ(v)xp
其中:
(1)S-為吸收線強度;HITRAN數據庫可以查到;
(2)p-為氣體的總壓強;
(3)Φ(v)-為線型函數;跟被測氣體溫度T;壓強P有關系;
(4)x-為被測氣體的體積比濃度,常用ppm等表示。通過公式可以反推被測氣體濃度。
我公司研發的激光氣體分析儀主要由激光發射單元、激光接收單元構成。發射單元和接收單元可以直接安裝在被測管道(煙道)上,也可以直接安裝在開發空間區域,用于開放式區域空間氣體濃度分析。激光波段可選擇為近紅外0.6-2um,或者中紅外3-8um的紅外激光光源,發射單元發射特定頻率的激光,直接穿過被測氣體,被接收單元中的傳感器接收被氣體吸收的光信號,接收單元將檢測信號傳送到數據分析單元,數據單元完成對過程氣體的檢測分析和儀器輸出控制,完成氣體濃度測量。激光吸收光譜(TDLAS)氣體分析測量技術能有效解決傳統的氣體分析技術中存在的諸多問題,相比于傳統的測量技術,具有測量靈敏度高,可達到ppm甚至ppb級的測量靈敏度,不受背景氣體干擾,測量速度快,無損測量原理,產品生命周期長,免維護等優勢。在國外已經逐漸實現產業化應用。而在我國也在逐漸開始推廣階段,目前,我們公司已經開發完成針對不同工業市場的激光氣體分析儀產品,包括:用于測量O2、CO、CO2、H2S、NH3、CH4、HCL等多款產品。
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